半導體裝備制造業(yè)是為我國集成電路和半導體器件行業(yè)提供工藝裝備的戰(zhàn)略性產業(yè),是提升我國半導體產業(yè)制造能力的高端裝備制造產業(yè),也是國家支持的重大技術裝備產業(yè)。中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會常務副秘書長金存忠向《中國電子報》記者表示,目前我國光伏設備以及LED設備目前已經基本上全面本土化,集成電路設備目前相比較而言依賴于進口較多。如今,如何快速發(fā)展本土半導體設備也成為人們關注的焦點。

中國半導體設備產業(yè)繼續(xù)保持快速增長

半導體設備主要包括集成電路設備、光伏設備、LED設備和分立器件設備。近年來,中國半導體設備產業(yè)發(fā)展迅速,市場規(guī)模逐步擴大。據金存忠介紹,在2019年,中國半導體設備繼續(xù)保持快速增長,根據中國電子專用設備工業(yè)協(xié)會對國內47家規(guī)模以上(半導體設備年銷售收入500萬元以上)半導體設備制造商2019年完成的主要經濟指標統(tǒng)計顯示:半導體設備銷售收入完成161.82億元,同比增長30%;半導體設備出口交貨值完成16.35億元,同比增長2.6%;半導體設備制造商實現總利潤(含所有產品)27.13億元,同比增長26.7%。此外,2016年—2019年中國半導體設備制造商銷售收入年均增長41.3%,實現總利潤年均增長23.5%,出口交貨值年均增長27.8%。

此外,目前我國集成電路和光伏設備訂單增長較快,在2019年訂單基本處于飽和狀態(tài)的基礎上,今年上半年依然保持良好。同時,SEMI數據顯示,2019年中國大陸半導體設備市場規(guī)模達到134.5億美元,占比全球半導體設備市場的22.5%,位居全球第二。此外,在2019年整個半導體產業(yè)萎縮、全球半導體設備銷售額下降7%的大背景下,中國半導體設備市場需求仍然保持3%的增長。可見中國半導體設備市場規(guī)模之龐大。

高端設備產業(yè)發(fā)展面臨三大問題

與此同時,由于集成電路設備產業(yè)具備極高的門檻和壁壘,國產集成電路設備依然面臨著種種挑戰(zhàn)。金存忠介紹,目前中國集成電路設備產業(yè)主要面臨著三大問題。首先,目前國產集成電路設備市場占有率較低。2019年中國集成電路設備在中國大陸市場占有率僅為10%左右。

其次,中國集成電路晶圓生產關鍵設備(如光刻機)仍需依賴于進口,14nm制程國產集成電路晶圓生產設備2019年剛剛進入產線量產,落后2019年國際先進的5納米量產生產線設備二代以上。此外,一些已進入晶圓量產生產線的國產設備中,有些設備與國際同類設備相比依然存在差距。

最后,目前國產半導體設備關鍵部件本地化進程緩慢,進口依賴度較大,集成電路晶圓生產設備關鍵部件進口額占設備銷售額的30%～40%。例如,干泵、分子泵、機械手(潔凈、真空)、高溫加熱裝置(溫控器)、射頻電源、真空閥門等。

產業(yè)處于較好市場環(huán)境 廠商將提速擴產

然而,隨著我國半導體產業(yè)制造能力的提升,在一些問題逐漸迎刃而解的同時也迎來很多新的發(fā)展機遇。金存忠認為,2019年國產集成電路晶圓生產線設備產業(yè)化發(fā)展迅速,集成電路晶圓生產線主要核心工藝設備已達到14納米量產水平,并且,中微半導體設備(上海)有限公司研制的5納米等離子體刻蝕機也通過了生產線的驗證。據預計,2020年國產集成電路設備銷售收入將增長50%左右。

其次,平價上網的到來給太陽能電池設備也帶了很多新的發(fā)展機遇。2019年是太陽能發(fā)電平價上網的元年,先進的PRCE晶硅太陽能電池片生產線設備受到市場的追捧成為光伏企業(yè)擴產的首選,全自動、智能化、大產能單晶硅生長和切片設備銷售也得到快速增長。2019年國產太陽能電池片生產設備銷售收入將繼續(xù)保持增長態(tài)勢,同比增長40%。

最后,金存忠預測,盡管受疫情影響,2020年第一季度半導體設備銷售情況一般,但是集成電路設備和太陽能電池片制造設備市場增長趨勢沒有改變,預計2020年中國主要半導體設備制造商銷售收入將達200億元左右,同比增長20%左右。此外,金存忠認為,2020年國內集成電路設備行業(yè)將處于較好的市場環(huán)境,中國大陸本土集成電路晶圓廠將擴產提速,國產裝備將在2020年進入較快發(fā)展時期。預計2020年集成電路生產設備將增長30%左右,銷售收入將超過太陽能電池片生產設備,達到90億元以上。